日期:2014-05-06 15:02
们典型的早期的方案，这一块的半导体工厂的人员、车间都是在这个位置。那么，上下都是新风机，那么它的工作原理是在天花顶层有一个反复的高效作用器。这上面两个是循环空调机，也可以放在上面，也可以放在侧面。通过新风机组补充新风，通过循环风机把洁净室通过地面下来的回风，通过循环风机对于冷量和湿度的调节，然后送到静压箱进行混合，然后通过顶部循环到车间里面去。
这样，使我们整个的气体，跟我们大型的空调不一样。我们大型的空调可能只有几个功能，这里是所有的空气从顶层全部压下来。这是我们第一步实现的现代洁净室的原理，